【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种基于光学相干层析扫描领域,具体涉及一种基于光学相干层析扫描的三维孔形检测系统。
技术介绍
目前,对于印刷电路板的质量,绝大部分生产商都采用人工目视检测,但是人工检测存在着其故有的缺陷,生产效率低,稳定性差。为了克服人工目视检测存在的不足,人们设计了一种自动光学成像(Auto Optics Imaging, Α0Ι),自动光学成像是通过利用普通光线和激光配合电脑程序,获得被测对象的图像,经过特定处理算法处理及分析,与标准图像进行比较,获得被测量对象的缺陷,从而实现对电路板制造中不同阶段的线路板进行平面性外观视觉检测。这种方法具有简便,快速的特点,但它只能检测一个平面,并不能对盲孔的深度进行有效的测量。而为了得到盲孔的更精确深度信息,可采用光学三维显微镜对盲孔进行检测,但是这种方法的检测速度不能达到实时检测的需要,极大地限制了它在盲孔检测中的应用。光学相干层析(Optical Coherence Tomography, OCT)是一种高速、高精度、非接触式的光学三维扫描成像技术。它是通过光学的相干层析性能,实现对样品的非接触式层析成像,最终实现对样品的三维成像。目前,光学相干层析成像已经广泛地应用于生物医学领域,特别是在人眼眼科成像领域。但是光学相干层析由于扫描范围的限制,不能进行大范围的扫描成像。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种基于光学相干层析扫描的三维孔形检测系统,其能够快速地检测出电路板上盲孔或通孔质量,同时对电路板行业的锡膏检测也有同等作用。为解决上述问题,本技术是通过以下技术方案实现的:—种基于光学相干层析扫描的三维孔形检测 ...
【技术保护点】
基于光学相干层析扫描的三维孔形检测系统,其特征在于:主要由光学相干层析成像装置(1)、系统光纤准直器(4)、二维扫描振镜(5)、扫描物镜(6)、纵移平台(3)、平移平台(8)和计算机(9)组成;纵移平台(3)和平移平台(8)均与计算机(9)相连,计算机(9)控制纵移平台(3)和平移平台(8)的运动;系统光纤准直器(4)、二维扫描振镜(5)、扫描物镜(6)固定在纵移平台(3),并跟随纵移平台(3)运动;待测的电路板(7)放置在平移平台(8)上,并跟随平移平台(8)运动;纵移平台(3)垂直位于平移平台(8)的正上方;光学相干层析成像装置(1)与计算机(9)相连;光学相干层析成像装置(1)发出的探测光由光纤(2)进入系统光纤准直器(4),系统光纤准直器(4)将探测光准直后进入到二维扫描振镜(5)进行二维扫描,二维扫描振镜(5)输出的光经扫描物镜(6)进行聚焦后进入放置在平移平台(8)上的电路板(7),电路板(7)产生的反射光经原路即依次经扫描物镜(6)、二维扫描振镜(5)和系统光纤准直器(4)后返回至光学相干层析成像装置(1),由光学相干层析成像装置(1)获得干涉信号后送入计算机(9)。
【技术特征摘要】
1.基于光学相干层析扫描的三维孔形检测系统,其特征在于: 主要由光学相干层析成像装置(I)、系统光纤准直器(4)、二维扫描振镜(5 )、扫描物镜(6)、纵移平台(3)、平移平台(8)和计算机(9)组成; 纵移平台(3)和平移平台(8)均与计算机(9)相连,计算机(9)控制纵移平台(3)和平移平台(8)的运动;系统光纤准直器(4)、二维扫描振镜(5)、扫描物镜(6)固定在纵移平台(3),并跟随纵移平台(3)运动;待测的电路板(7)放置在平移平台(8)上,并跟随平移平台(8)运动;纵移平台(3)垂直位于平 移平台(8)的正上方; 光学相干层析成像装置(I)与计算机 (9 )相连;光学相干层析成像装置(I)发出的探测光由光纤(2)进入系统光纤准直器(4),系统光纤准直器(4)将探测光准直后进入到二维扫描振镜(5)进行二维扫描,二维扫描振镜(5)输出的光经扫描物镜(6)进行聚焦后进入放置在平移平台(8)上的电路板(7),电路板(7)产生的反射光经原路即依次经扫描物镜(6)、二维扫描振镜(5)和系统光纤准直器(4)后返回至光学相干层析成像装置(I ),由光学相干层析成像装置(I)获得干涉信号后送入计算机(9 )。2.根据权利要求1所述基于光学相干层析扫描的三维孔形检测系统,其特征在于: 纵移平台(3)和平移平台(8)的组合为以下3种之一,即: 纵移平台(3)仅由Z轴运动电机构成时,平移平台(8)由X轴电机和Y轴运动电机组成; 或纵移平台(3)由Z轴运动电机和X轴运动电机组成时、平移平台(8)仅由Y轴运动电机构成; 或纵移平台(3)由Z轴运动电机和Y轴运动电机组成时、平移平台(8)仅由X轴运动电机构成。3.根据权利要求1或2所述基于光学相干层析扫描的三维孔形检测系统,其特征在于: 光学相干层析成像装置(I)为频域光学相干层析成像装置,此时该光学相干层析成像装置(I)主要由扫频光源(10)、光纤环形(11)、光纤耦合器(12)、2个偏振控...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘茂珍,李喜锦,李育华,
申请(专利权)人:刘茂珍,李喜锦,李育华,
类型:实用新型
国别省市:
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