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一种蚀刻装置，其设有一蚀刻组件、一输送组件及一载具组件，该蚀刻组件设有一蚀刻腔体、一上盖板及一升降装置，该上盖板可翻转地设于该蚀刻腔体顶面且设有一电极导入装置、两气孔板及一遮板，该输送组件设于该蚀刻组件内且于该蚀刻腔体内间隔设置有多个转动轴...
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