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本发明提供一种成膜装置，其提高成膜处理的稳定性。本发明的成膜装置（1）通过等离子体束（P）加热成膜材料（Ma），使从成膜材料（Ma）气化后的成膜材料粒子（Mb）附着在基板（11）上来成膜，其具备：真空容器（10），形成真空环境；主阳极（3）...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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