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本发明提供一种MOCVD设备的尾气颗粒过滤系统及方法，该过滤系统包括：用于吸附MOCVD设备的尾气颗粒的一级颗粒吸附系统、冷却系统和二级颗粒吸附系统；冷却系统设置于一级颗粒吸附系统中，与一级颗粒吸附系统结合实现对MOCVD设备的尾气的快速降...
该专利属于上海博恩世通光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海博恩世通光电股份有限公司授权不得商用。

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