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一种物料系统技术方案
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文档序号:8926826
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一种物料系统,涉及到半导体的一些生产设备的走料及物料台相结合的物料系统。解决现有半导体的生产设备存在生产效率低的技术不足,包括有送料机构、取料机构及设于送料机构和取料机构之间的物料台机构,所述的送料机构或者所述的取料机构包括有用于放置物料和...
该专利属于邹志峰所有,仅供学习研究参考,未经过邹志峰授权不得商用。
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