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CMP浆料的辅助剂制造技术
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文档序号:892005
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本发明公开了一种辅助剂,该辅助剂用于使用磨粒同时抛光阳离子带电材料和阴离子带电材料的工艺中,该辅助剂吸附在所述阳离子带电材料上从而抑制该阳离子带电材料被抛光,致使所述阴离子带电材料的抛光选择性提高,其中,所述辅助剂包含具有芯-壳结构且具有小...
该专利属于LG化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG化学株式会社授权不得商用。
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