温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种片盒解锁装置，用于对片盒解锁，其中片盒具有两个锁附孔。片盒解锁装置包括基座、驱动单元、活动件、丝杠、螺母、两个摆动气缸以及两个解锁件。驱动单元设置于基座。活动件可滑动地设置于基座，以接近或远离片盒。丝杠穿设于活动件并连接驱动...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。