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一种晶圆装卸台的控制系统，包括嵌入式系统控制模块，以及分别与之通信连接的输入模块、驱动模块和信号交互模块，驱动模块通过所述嵌入式系统控制模块的控制信号驱动晶圆装卸台，信号交互模块用于采集外部设备的模拟量信号，并与外部设备交互数字量信号；由于...
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