温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于锑乳胶源埋层扩散的专用设备及方法。所述的专用设备,石英扩散管设置在扩散高温炉中,石英扩散管的前部设有进气口,进气口与均流石英装置相连,石英扩散管的后部设排气口,扩散高温炉分为为三区,炉外设有三区温控装置;所述的锑乳胶源埋层...
该专利属于福建省安特半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省安特半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。