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一种研磨系统（２０），可具有一转动平台（２４）；一固定于平台上的研磨垫（３０）；一固定基材使其正面朝下对着研磨垫的载具头（１０）；以及一漩涡电流监测系统，该漩涡电流监测系统包括至少部分通过研磨垫的一线圈或一强磁体。一研磨垫，具有一研磨层，和...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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