温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种对准装置，包括：光源；用于承载硅片的工件台，可6自由度精确定位；具有硅片对准光栅的硅片；反射镜，使所述光源发出的光入射到所述硅片对准光栅上并遮挡由所述硅片对准光栅衍射的0级光；投影系统，可收集由硅片对准光栅衍射的非0级光，并投射到参考光...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。