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一种工件台平衡质量质心测试校准方法技术
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文档序号:8906564
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一种工件台平衡质量质心测校方法,包含以下步骤:以平衡质量作为测校对象,其水平X、Y自由度开环,Rz自由度闭环;给平衡质量注入运动轨迹,采集平衡质量零速段位移测量输出,将平衡质量的位移数据处理后得到平衡质量的水平向三自由度的位移值;将处理得到...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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