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真空密封元件背装式锁紧装置快速拆装方法，涉及大口径真空密封元件拆装方法，本发明为了解决目前真空隔离的光学元件需要维修或更换时，需动用大型机械设备整体拆卸，费时费力，效率低的问题，本发明由真空隔离组件安装方法和真空隔离组件拆卸方法组成，通过助...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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