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一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置制造方法及图纸
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下载一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置的技术资料
文档序号:8906444
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本发明提供了一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置,属于光栅拼接的调整装置技术领域。本发明为了解决现有的光栅姿态调整装置驱动刚度低、系统刚度低和整体稳定性差的问题。所述偏摆调整组件位于俯仰面内组件之上,偏摆调整组件的偏摆调整底板与俯仰面内...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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