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下载研磨盘的技术资料

文档序号:890643

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一种研磨盘,在弹性板的一面侧固定研磨布的背面侧,在上述弹性板的另外一面侧设置用来固定于转动研磨装置的转动轴的固定装置,其特征在于:在上述研磨布的与研磨对象物接触的一侧的表面上设置呈格子状的纵槽及横槽。...
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