下载冷冻纳米磨料抛光垫及其制备方法的技术资料

文档序号:890630

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本发明针对传统抛光垫在抛光加工过程中效率低、成本高、均匀性和可靠性差、工艺控制能力不强等缺点,提出了一种冷冻纳米磨料抛光垫及其制备方法,以适应目前抛光精加工的需求。本发明利用液体作为粘结剂,通过冷冻将纳米磨料粘结形成抛光垫,可用于抛光加工各...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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