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本发明提供了一种集成电路测试装置，包括测试平台和位于所述测试平台下方的加热单元，还包括冷却单元，所述冷却单元位于所述加热单元的下方。采用本发明的集成电路测试装置，可以有效加快冷却速度、缩短了冷却时间。从而提高了测试效率，以降低集成电路生产过...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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