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波长检测器及使用波长检测器的接触探头制造技术
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文档序号:8905615
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本发明提出一种波长检测器及使用波长检测器的接触探头,其中所述接触探头包括触针以及用于以光学方式检测触针姿势的光学检测器。照明对象部形成在触针上并具有三个或更多个反射面。光学检测器包括三个或更多个光纤、光源、聚光透镜组以及波长检测器。波长检测...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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