下载检测计算全息基片面形和材料不均匀性误差的装置和方法的技术资料

文档序号:8905436

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本发明是检测计算全息基片面形和材料不均匀性误差的装置,包括在实验平台上安装干涉仪、标准镜头、被检测计算全息基片和参考球面镜,标准镜头、被检测计算全息基片和参考球面镜依次位于来自干涉仪的准直光路中,并且它们的旋转中心轴与准直光束中心轴重合;参...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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