下载适用于高温氧化物晶体生长的辅助监测系统的技术资料

文档序号:8903850

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本发明涉及一种适用于高温氧化物晶体生长的辅助监测系统,包括:夹持籽晶的籽晶夹持单元;设计为与所述籽晶夹持单元和所述籽晶绝缘的生长炉,所述生长炉容纳有用于生长晶体的熔体;以及一端连接到所述籽晶夹持单元,并且另一端连接到所述生长炉的电容监测单元...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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