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一种准单晶硅铸锭设备及铸锭方法技术
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文档序号:8903841
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本发明涉及一种准单晶硅铸锭设备,其包括设置于壳体内的铸锭室和籽晶储存室,设置于籽晶储存室和铸锭室之间的隔热门以及可以将籽晶从籽晶储存室穿过隔热门移动铸锭室的坩埚中的籽晶投放装置。本发明还涉及利用该设备的准单晶硅铸锭方法,该方法先利用加热装置...
该专利属于徐传兴所有,仅供学习研究参考,未经过徐传兴授权不得商用。
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