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本发明提供一种解决了磨粒对基板的固定安装强度问题以及不均匀的研磨面问题等且可高效率地进行加工的研磨工具及其有效的制造方法。本发明特别涉及一种ＣＭＰ垫片修整器中所使用的研磨工具及其制造方法，该研磨工具是具有研磨部的研磨工具（１），该研磨部由一...
该专利属于石塚博所有，仅供学习研究参考，未经过石塚博授权不得商用。

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