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本发明公开了一种红外-太赫兹双波段阵列探测器微桥结构及其制备方法，用于红外与太赫兹波段的探测与成像。所述微桥结构的顶层为双层氧化钒薄膜，下层氧化钒薄膜为具有高电阻温度系数（TCR）的无相变氧化钒薄膜，用作红外与太赫兹波段的敏感层，上层氧化钒...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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