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本发明一种内冷却固结磨料研磨盘属于固结磨料研磨加工领域，特别涉及一种用于硅片、蓝宝石、陶瓷和玻璃等材料单面或双面研磨的内冷却固结磨料研磨盘。研磨盘内部具有冷却液循环通道，研磨盘由含有磨料的多孔磨块、带有多个孔道的基板和开有中心孔及沟槽的分流...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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