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一种三维钻孔的装置，包括：加工单元，控制单元和三维机械手；所述控制单元包括信息输入器、运算器、第一信息输出器和第二信息输出器；所述第一信息输出器与所述加工单元连接；所述第二信息输出器与所述三维机械手连接。所述的控制单元包括下述控制方法：在信...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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