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为破坏晶圆表面电路的去除设备制造技术
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下载为破坏晶圆表面电路的去除设备的技术资料
文档序号:890013
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本实用新型涉及一种为破坏晶圆表面电路的去除设备,特别系指一种可在晶圆厂内破坏晶圆表面电路的去除设备,该去除设备包含有一去除装置、一输送装置、一入料装置及一出料装置,其中入、出料装置系设于输送装置两端,且输送装置可将晶圆加载去除装置内部,而去...
该专利属于廖桂敏所有,仅供学习研究参考,未经过廖桂敏授权不得商用。
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