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本发明提供一种抛光设备，用于平坦或弯曲的光学表面的研磨和高精度的精抛光，还用于半导体和金属表面的光学整平。该设备不与待抛光表面接触。本发明是一种没有移动部件的设备，其中一些部件由不锈钢和陶瓷材料制成。由于其流体动力学特性，该设备可以使经抛光...
该专利属于墨西哥国立自治大学所有，仅供学习研究参考，未经过墨西哥国立自治大学授权不得商用。

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