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本实用新型公开了一种四氯化硅制备三氯氢硅的微波等离子体反应装置，包括：带有加热装置的四氯化硅储罐；氢气储罐；氩气储罐；具有保温功能的混合气体储罐，与四氯化硅储罐和氢气储罐相连；微波等离子体反应器，分别与混合气体储罐和氩气储罐相连；微波等离子...
该专利属于重庆大学所有，仅供学习研究参考，未经过重庆大学授权不得商用。

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