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金刚石膜的固态稀土金属高速抛光装置，包括抛光头、金刚石膜具、金刚石膜、辅助加热装置，金刚石膜为球面状，抛光头为碗状、金刚石膜具有与抛光头相对设置，并有一定间隙，金刚石膜位于金刚石膜具与抛光头之间，并固定在抛光头上，金刚石膜具和抛光头分别各自...
该专利属于沈阳理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳理工大学授权不得商用。

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