【技术实现步骤摘要】
本技术属于超硬材料拋光技术，特别涉及一种金刚石膜的固态稀土金属高速拋光装置。
技术介绍
金刚石膜是由化学气相沉积技术沉积的纯金刚石多晶膜，具有高的硬度、耐磨性、优良的电绝缘性、导热性、透光性和声学特性，被视为21世纪最有发展前途的新材料，在众多高新
和国防尖端
展示了很好的应用前景，如高功率激光二极管阵列及高功率电子器件封装用的高效热沉、强激光窗口、红外热成像装置窗口、高功率微波窗口、 X射线窗口、及用于通讯系统的金刚石膜声表面波器件等，这些金刚石膜器件既有平面形状，又有曲面形状。由于金刚石膜本身是多晶膜，晶粒粗大，表面粗糙，而且由于沉积过程的不均匀性，金刚石膜表面凹凸不平。因此其工业应用必须经过研磨抛光加工。由于金刚石膜硬度极高，传统的机械研磨抛光方法效率极低。目前国内外开发研究了一些新的抛光方法，但都存在着许多问题和不足。如激光束扫描抛光效率较高，但抛光表面质量较低，表面易残留石墨，难以对大面积金刚石膜进行精密抛光，只能进行金刚石膜的粗加工，而且难以对曲面金刚石膜进行抛光；离子束刻蚀抛光表面质量较高，但由于受离子束和离子腔尺寸的限制，抛光金刚石膜...
【技术保护点】
金刚石膜的固态稀土金属高速抛光装置，包括抛光头、金刚石膜具、金刚石膜、辅助加热装置，其特征在于金刚石膜为球面状，抛光头为碗状、金刚石膜具有与抛光头相对设置，并有一定间隙，金刚石膜位于金刚石膜具与抛光头之间，并固定在抛光头上，金刚石膜具和抛光头分别各自安装在一电动机的动力输出轴上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄树涛，许立福，周丽，焦可如，
申请(专利权)人：沈阳理工大学，
类型：实用新型
国别省市：89[中国|沈阳]
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