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本实用新型涉及一种研磨盘驱动装置的保护盖，所述研磨盘驱动装置的保护盖包括盖板和侧壁。其中，所述盖板与所述侧壁连接，所述盖板的边缘设有凹槽。本实用新型提供的研磨盘驱动装置的保护盖上设有凹槽，研磨盘驱动装置的保护盖上面的水会流入凹槽中，不会流到...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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