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本实用新型涉及一种大尺寸石英方片研磨装置，包括位于待磨石英芯片（４）上、下方的上盘面（１）和下盘面（２），位于上、下盘面中心的中心齿轮（３），上下盘面的两侧有内、外齿轮（５），上盘面与可控制上盘面负荷重量的悬吊系统（６）相连，中心齿轮及内外...
该专利属于台晶(宁波)电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台晶(宁波)电子有限公司授权不得商用。

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