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本实用新型公开了一种化学机械法金刚石膜抛光装置，该装置包括电机（２）、传动组件（１）、相互配合并可以连接传动的套筒套轴组件（８）以及它们之间的可以进行压缩的弹簧（９）、金刚石膜装夹组件（１４）、抛光底盘（６）、绝缘隔热材料（７）、温控器（１...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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