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气体计测装置和气体计测装置的波长调制幅度的设定方法制造方法及图纸
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文档序号:8882334
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本发明的气体计测装置对波长调制幅度的设定进行简化。气体计测装置(1)是对计测对象气体(30)进行计测的装置。气体计测装置(1)具有光源(2)、第1受光装置(14)、第1相位敏感检波装置(18)、R算出部(42)、设定部(44)。光源(2)使...
该专利属于株式会社堀场制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场制作所授权不得商用。
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