温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种单晶炉的石英坩埚，属于单晶硅生产设备技术领域。一种单晶炉的石英坩埚，其特征在于：它包括坩埚本体（1），所述坩埚本体（1）内壁上涂覆有氮化硅层（2）。本发明单晶炉的石英坩埚，坩埚本体内壁上涂覆有氮化硅层，能够有效防止硅液结晶过程...
该专利属于汤仁兴所有，仅供学习研究参考，未经过汤仁兴授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。