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单晶炉的热场制造技术
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文档序号:8881140
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本发明涉及一种单晶炉的热场,其特征在于:它包括炉体(1),所述炉体(1)内设置有保温筒(2),炉体(1)与保温筒(2)之间设置有保温毡(3),所述炉体(1)内部设有坩埚托盘(4),所述坩埚托盘(4)内设有石墨坩埚(6),所述石墨坩埚(6)内...
该专利属于汤仁兴所有,仅供学习研究参考,未经过汤仁兴授权不得商用。
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