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本发明提供一种能够有效地抑制堆积膜的剥离的成膜装置及粒子捕获板。本发明的成膜装置（1）具备配置于真空容器（3）内的粒子捕获板（30），在粒子捕获板（30）的表面（30a）中形成有第1凹凸（32）和第2凹凸（34），该第2凹凸设置于第1凹凸（...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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