下载一种氮化硅坩埚用粉粒体的制备方法的技术资料

文档序号:8880144

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本发明提供了一种氮化硅坩埚用粉粒体的制备方法,包括以下步骤:a)将由氮化硅粉和硅粉组成的混合粉体与无水乙醇混合,制成浆料,所述混合粉体的目数在325目以上,所述浆料的固含量为30%~50%;b)将所述浆料进行喷雾干燥造粒,经出料得到氮化硅坩...
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