温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种微结构加工方法，该方法利用磁控溅射镀膜装置，将附有图案化的掩膜板的超材料基片设置在磁控溅射镀膜装置的阳极上，而将金属片设置在阴极上；然后将磁控溅射镀膜装置的真空室抽成高真空后充入低压惰性气体；接着在阳极和阴极之间加上预定电压后...
该专利属于深圳光启高等理工研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳光启高等理工研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。