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基于飞秒激光微加工的光纤光栅氢气传感器及其制备方法技术
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下载基于飞秒激光微加工的光纤光栅氢气传感器及其制备方法的技术资料
文档序号:8861138
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一种基于飞秒激光微加工的光纤光栅氢气传感器及其制备方法。该传感器的制备主要是通过飞秒激光在光纤光栅包层制备直槽阵列或交叉螺旋槽三维微结构,再镀上钯合金膜,从而大幅提高其灵敏度,延长薄膜寿命。其特点是引入飞秒激光微加工技术,借助夹具,先在包层...
该专利属于武汉理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉理工大学授权不得商用。
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