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坩埚用保护垫片及使用该坩埚用保护垫片的坩埚装置制造方法及图纸
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下载坩埚用保护垫片及使用该坩埚用保护垫片的坩埚装置的技术资料
文档序号:8859205
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一种在具有内侧坩埚(2)和外侧坩埚(3)的坩埚中配置在两坩埚之间的由膨胀石墨构成的坩埚用保护垫片,面方向的导热率为120W/(m·K)以上、透气率小于1.0×10-4cm2/s,从厚度方向以34.3MPa的加压力加压压缩时,压缩率为20%以...
该专利属于东洋炭素株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东洋炭素株式会社授权不得商用。
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