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工模具的高熵合金涂层制备工艺制造技术
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文档序号:8859070
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本发明提供了一种工模具的高熵合金涂层制备工艺,首先,将Ni、Co、Fe、Cr、Ti以等摩尔比例配置制备NiCoFeCrTi高熵合金材料;然后,以所述NiCoFeCrTi高熵合金材料和一个单一元素材料为靶材,采用射频磁控溅射法在一个硬质合金基...
该专利属于上海电机学院所有,仅供学习研究参考,未经过上海电机学院授权不得商用。
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