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一种金刚石膜高速精密抛光装置，包括床身、抛光盘驱动装置、金刚石膜驱动装置、真空抛光室外罩和加热器，抛光盘驱动装置设置在真空抛光室外罩内，并都固定在床身上，金刚石膜驱动装置固定在真空抛光室外罩的上面，加热器设置在上支架的上面，金刚石膜装卡在抛...
该专利属于沈阳理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳理工大学授权不得商用。

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