一种金刚石膜高速精密抛光装置制造方法及图纸

一种金刚石膜高速精密抛光装置，包括床身、抛光盘驱动装置、金刚石膜驱动装置、真空抛光室外罩和加热器，抛光盘驱动装置设置在真空抛光室外罩内，并都固定在床身上，金刚石膜驱动装置固定在真空抛光室外罩的上面，加热器设置在上支架的上面，金刚石膜装卡在抛光头上，采用抛光盘与金刚石膜的高速相对运动产生摩擦热和抛光盘底面低温加热，使金刚石膜抛光表面温度迅速达到扩散温度，金刚石膜表面的凸点碳原子向由铁、镍等金属制成的抛光盘扩散磨损，从而达到抛光目的，本实用新型专利技术具有结构简单、抛光质量好、抛光效率高、生产成本低等优点，解决了热铁板抛光因加热温度及温度分布梯度过大而造成的抛光盘翘曲变形大，抛光平面度差等问题。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于超硬材料抛光技术，特别涉及一种金刚石膜高速精密抛光装装置。
技术介绍
金刚石膜是由化学气相沉积技术沉积的纯金刚石多晶膜，不仅具有高的硬度和耐磨性，而且具有优良的电绝缘性、导热性、透光性和声学特性，被视为21世纪最有发展前途的新材料，在高新
和国防尖端
都有广泛的应用。由于金刚石膜是多晶膜，气相沉积的金刚石膜表面粗糙、均匀性差，所以在工业应用时必须要经过研磨抛光加工，特别是在高新
应用时，不仅要求金刚石膜具有极小的表面粗糙度，而且要求具有高的平面度。由于金刚石膜硬度极高，传统的机械研磨抛光方法效率极低，而且很难达到技术要求。目前在金刚石膜抛光加工中还存在着很多问题和不足，例如激光束扫描抛光和稀土金属刻蚀抛光效率较高，但抛光表面质量较低；离子束刻蚀加工表面质量较高，但是加工效率低、成本高，难以加工面积较大的金刚石膜；热铁板抛光虽然技术具有抛光表面质量好(Ra可达0.0055μm)、效率高等优点，但是热铁板抛光技术是采用大功率电阻丝加热抛光盘到800～900℃，由于抛光盘温度高热变形大，因此很难保证金刚石膜加工的平面度，而且耗电量大，加工成本高。
技术实现思路
本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金刚石膜高速精密抛光装置，包括床身、抛光盘驱动装置、金刚石膜驱动装置、真空抛光室外罩和加热器，真空抛光室外罩上设置有真空接头和冷却管，还有活性气体进气管和带有加热丝连接支架，抛光盘驱动装置设置在真空抛光室外罩内，并都分别固定在床身上，抛光盘固定在抛光主轴上，抛光主轴通过轴承设置在支承体内，支承体通过法兰盘和固定盘固定在支座内，调速电机装在固定盘上，并与抛光主轴连接；其特征是，加热器设置在上支架与抛光盘之间，金刚石膜驱动装置设置在真空抛光室外罩上面，所述金刚石膜驱动装置包括抛光头、抛光头轴、驱动轴和电机，抛光头固定在抛光头轴上，抛光头轴通过套设置在驱动轴内，并通过调整螺钉固定，抛光头轴的上端...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄树涛，
申请(专利权)人：沈阳理工大学，
类型：实用新型
国别省市：89[中国|沈阳]