温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及抛光垫，其特征在于，微橡胶Ａ硬度为８０度以上，具有平均气泡直径为１０００μｍ以下的气泡，而且密度为０．４－１．１的范围，含有聚氨酯和乙烯基化合物聚合得到的聚合物。本发明涉及的抛光垫，在使半导体基板的局部性的凹凸平整时，抛光速度快，...
该专利属于东丽株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东丽株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。