下载一种带有压力膜的谐振梁压力传感器的技术资料

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一种带有压力膜的谐振梁压力传感器,包括衬底,在衬底和谐振梁中间的衬底上设有压力膜,本发明能够实现梁膜一体化,生产是一次健合即可,制作工艺简单。...
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