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本发明公开了一种蓝宝石的固相反应ＣＭＰ加工方法，包含以下步骤：选取比蓝宝石硬度小的氧化物微粉作为磨料；磨料与蓝宝石接触，在接触点发生固相反应，生成结晶层；磨料通过机械接触把结晶层去除。本发明因为采取了所述方法，抛光的表面是超光滑表面（表面粗...
该专利属于深圳奥普光电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳奥普光电子有限公司授权不得商用。

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