下载一种采用空心硅芯生长多晶硅的方法的技术资料

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一种采用空心硅芯生长多晶硅的方法,涉及一种多晶硅的生长方法,包括以下步骤,将两根竖硅芯管(3)的下端与底座(5)上部设置的插柱(4)或套管(13)或插柱(4)与套管(13)之间的间隙连接,两根竖硅芯管(3)的上端与横硅芯管(2)或方硅芯(7...
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