下载研磨布用修整器及其制造方法的技术资料

文档序号:882685

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本发明提供一种研磨布用修整器及其制造方法,所述研磨布用修整器能够维持稳定的修整性,在研磨布表面形成均匀的研磨面,特别是能够避免起因于脱粒的由研磨布造成的晶片划痕。该研磨布用修整器在基体金属1的表面形成修整部,该修整部由多个磨粒2和保持磨粒的...
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