下载化学-机械抛光固定环的技术资料

文档序号:880948

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一种化学-机械抛光固定环,它包括一个由耐磨塑料制成的基部,和由更坚硬、更耐磨的材料制成的上部或主干部。最好是一个基部或主干部包覆成型在另一个之上。基部通常由平的垫接触区、外表面和内表面构成。基部还可包含从外表面延伸至内表面的流道,以促进浆液...
该专利属于安格斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过安格斯公司授权不得商用。

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